ČSN EN 62047-14 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials

STANDARD published on 1.10.2012

English (the title page in Czech only) -
Print design (15.30 USD)

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-14
Classification mark: 358775
Catalog number: 91588
Publication date standards: 1.10.2012
The number of pages: 28
Approximate weight : 84 g (0.19 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN

Annotation of standard text ČSN EN 62047-14 (358775):

Tato norma popisuje definice a postupy pro měření mezní tvářitelnosti kovových materiálů tvořících vrstvu pro tloušťky v rozmezí od 0,5 _m do 300 _m. Kovové vrstvy, které jsou v normě zmiňovány se používají v elektrických částech, MEMS a mikrosoučástkách. Norma uvádí metody předpovídání vad v materiálu při vtiskávacím procesu