ČSN EN 62047-3 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing

STANDARD published on 1.5.2007

Language
Format	Print design - 13.90 USD
Availability	IN STOCK
Price	13.90 USD excl. VAT
13.90 USD

The information about the standard:

Designation standards: ČSN EN 62047-3
Classification mark: 358775
Catalog number: 78595
Publication date standards: 1.5.2007
SKU: NS-161585
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN

Send to a colleague

Query

The category - similar standards:

Other semiconductor devices

Annotation of standard text ČSN EN 62047-3 (358775):

Tato mezinárodní norma specifikuje normalizovaný zkušební kus, který se používá pro zajišťování vhodnosti a přesnosti systému zkoušení v tahu pro tenkovrstvové materiály o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS) mikrostrojů a podobných součástek.

Tato mezinárodní norma vychází z koncepce, aby systém zkoušek v tahu mohl zaručovat vhodnost a přesnost při měření pevnosti v tahu normalizovaných zkušebních kusů, jejichž pevnost v tahu je stanovena předem, v předpokládaném rozsahu. Norma rovněž stanoví zkušební kusy pro minimalizaci odchylek charakteristik mezi zkoušenými kusy.

Přejímaná EN 62047-3 představuje 3 strany anglického textu a 15 stran anglického a francouzského textu normy IEC