We need your consent to use the individual data so that you can see information about your interests, among other things. Click "OK" to give your consent.
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
STANDARD published on 1.3.2012
Designation standards: ČSN EN 62047-10
Classification mark: 358775
Catalog number: 90140
Publication date standards: 1.3.2012
SKU: NS-161577
The number of pages: 24
Approximate weight : 72 g (0.16 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN
Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení.
Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikrostrojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály
Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
Correction published on 1.7.2012
Selected format:1.2.2012
1.12.2011
1.3.2012
1.4.2014
1.4.2012
1.10.2012
Do you want to make sure you use only the valid technical standards?
We can offer you a solution which will provide you a monthly overview concerning the updating of standards which you use.
Would you like to know more? Look at this page.
Latest update: 2024-11-22 (Number of items: 2 206 568)
© Copyright 2024 NORMSERVIS s.r.o.