Cookies
We need your consent to use the individual data so that you can see information about your interests, among other things. Click "OK" to give your consent.
ČSN EN 62047-17 (358775)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Automatically translated name:
Semiconductor devices - Microelectromechanical devices - Part 17 : Test method for buckling measurement of mechanical properties of thin films. ( In English , the text is part of the printout ).
STANDARD published on 1.9.2015
The information about the standard:
Designation standards: ČSN EN 62047-17
Classification mark: 358775
Catalog number: 98268
Publication date standards: 1.9.2015
SKU: NS-614167
The number of pages: 36
Approximate weight : 108 g (0.24 lbs)
Country: Czech technical standard
Category: Technical standards ČSN
The category - similar standards:
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Annotation of standard text ČSN EN 62047-17 (358775):
Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm.
Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko.
Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály
Preview of the standard ČSN EN 62047-17 (358775)
Similar standards:
WITHDRAWN
1.9.2015
1.9.2015
1.4.2015
1.4.2015
1.4.2015
1.11.2010
We recommend:
Technical standards updating
Do you want to make sure you use only the valid technical standards?
We can offer you a solution which will provide you a monthly overview concerning the updating of standards which you use.
Would you like to know more? Look at this page.
